AK40激光干涉仪

配置方式

 立式、卧式配置
 平面总成，球面总成
 静态测量，相位移调制测量

 附件

 标准平面和球面参照镜
 与ZYGOTM参照镜相容
 标准衰镜
 干涉仪支撑/调整用四脚座
 水平五轴调整座

IntelliWave TM分析

Windows XP系统 干涉条纹静态与相位移调制分析
 完整的分析工具，包括统计资料、像差
 绕射分析、影像加工、以及几何影像转换
 干涉图转换成光学（OPD）或表面地图（surface map）
 自动反复测量或自动化分析功能
 相互连接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel软件
1  蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得长度上，测量高度高点与低点间的距离
2  均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取样长度上，距离高度中心线的均方根偏差值
3  三平面检定方（3-Flat Test ）使用三个平面参照镜相互检测的测量方式
4  重复性（Repeatability）的定义：对相同的组件进行100次量测，而每组量数据是由20个数据平均后取得，100组测数据统计分析，定义重复性即是一个标准差值。